2022-06-14
真空コーティング機の故障後、ユーザーはまず故障の状態を把握し、次に故障を直接観察し始めて、故障をより正確に、より速く、より効果的にクリアできるようにする必要があります。
故障を解消するには、まず低真空ポンプが正常かどうかを確認し(真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ、パイプライン、下部チャンバー、揮発チャンバー)、低真空ポンプが正常になったらメインバルブを開き、下部チャンバーの真空かどうかを確認しますメインポンプが正常になった後、ポンプは正常です。通常、下部チャンバー真空ポンプは通常、高バルブを開いて高真空ポンプの検査と漏れの検出を実行し、真空ポンプ、限界値真空ポンプ、真空ポンプ、および修理真空ポンプなどが完成します。限界値真空ポンプと真空ポンプは正常であり、真空ポンプと真空異常は修理されています。メインバルブに問題がある可能性が非常に高いです。
今日は、真空コーティング機のアプリケーションの全プロセスにおける一般的な障害と解決策のいくつかの例を示します。
>> 1フィルムをコーティングすると、真空値が急激に低下します。
1.揮発源水路のシールリングが破損している(シールリングの取り外し)
2.ポットに穴を開けます(ポットを取り外します)
3.高電圧レベルのシール部分を貫通します(シールリングの取り外しと交換)
4.作業回転シールのシールリングの損傷(シールリングの取り外しと交換)
5.プレバルブの突然の閉鎖は、5/2方向バルブの損傷である可能性があります(5/2方向バルブの交換)
6.ハイバルブが突然閉まるオフにしたときに、2ポジション5方向バルブが損傷している可能性があります(2ポジション5方向バルブを交換してください)。
7.真空ポンプをOFFにすると、電磁弁が破損する場合があります(電磁弁が正常か確認してください)。
8.焼き付けたリード線の電気レベルシールを貫通します(シールリングを取り外して交換します)
9.パーティションの動的シールでのシールリングの破壊(シールリングの取り外しと交換)
10.合わせガラス(合わせガラスの取り外しと交換)真空コーティング機の観察鏡のひび割れと破裂
>> 2コーティング機の真空包装時間が長すぎて、真空ポンプに到達できず、真空ポンプを修理し、真空ポンプを制限し、真空を維持することができません
1.揮発チャンバー内に大量の煙があります(清掃する必要があります)
2.拡散ポンプが長期間オイルを交換していない(西安オイル交換を清掃する必要があります)
3.フロントポンプのリバースガスの圧力が非常に高く、真空ポンプの真空値が低すぎる(オイルを洗浄して交換する必要があります)
4.各ダイナミックシーラントリングが損傷している(シールリングの取り外しと交換)
5.揮発チャンバーの長期周囲温度が高すぎるため各シーラントリングを古くします(シールリングを取り外して交換します)
6.揮発チャンバーの各入口水路のシールリングが損傷していないか(シールリングを交換してください)
7.各インレットシートのネジとナットが脱落していないか(再度締めます)
8.気密性(給油)で信頼できるプレバルブの数