真空コーティング装置の圧力制御原理

1。バックグラウンドの紹介
真空コーティング機器は、工業生産に広く使用されている一種の機器です。その主な機能は、真空コーティングチャンバーにコーティングする必要がある材料を配置することであり、高温と高真空環境での反応を通じて、フィルム層は材料の表面に均等に堆積します。 、特別な機能と特性を備えた特定のコーティング層を形成します。その中で、機器の真空度と接着速度は、コーティング層の品質に影響を与える重要な指標であり、真空度の安定性は機器の圧力制御に依存します。
2。真空コーティング装置の圧力制御の原理
1。真空程度の定義
圧力制御の原則を導入する前に、真空とは何かを導入する必要があります。物理学では、真空とは、圧力が大気圧よりも少ないガス環境を指します。したがって、真空の程度は特定の空間のガス圧を指します。一般に、真空は通常、Pascals（PA）またはMeters Bar（MBAR）で測定されます。真空コーティング装置では、通常の真空範囲は10^-6pa〜10^-2paです。
2。圧力制御の原理
真空が高すぎたり低すぎたりすると、機器の通常の動作に影響します。したがって、特定の方法を介して機器の真空レベルを制御する必要があります。その中で、圧力制御は比較的単純で効率的な制御方法です。具体的には、圧力制御の原理は、圧力コントローラーを使用して、制御端の圧力を検出し、フィードバックメカニズムを介してバルブの開口を制御して、圧力を制御する目的を達成することにより、機器のガス流量を制御することです。
3.圧力コントローラーの基本的な構成
真空コーティング装置では、圧力コントローラーが通常、圧力を制御するために使用されます。その基本的な構成には、検出センサー、コントローラー、アクチュエータ、コントロールシステムの4つの部分が含まれます。
検出センサー：主に制御端の圧力変化を検出し、コントローラーが使用するために対応する電気信号出力に変換するために使用されます。
コントローラー：主にセンサーによる電気信号出力を受信し、プロセスと分析を行い、解析結果にアクチュエーターに戻し、アクチュエーターの開口度を制御します。
アクチュエーター：圧力を制御する目的を達成するために、バルブの開口度を制御することにより、主に機器のガスの流量を制御します。
制御システム：主に、温度、真空度など、機器のさまざまな指標を監視および制御し、一連の制御戦略を作成するために使用されます。
3。概要
要約すると、真空コーティング装置の圧力制御の原理は、比較的シンプルで効率的なフィードバックメカニズムを介して、機器の圧力を制御することです。このような安定した制御システムを確立するには、パラメーター監視、制御アルゴリズム、アクチュエータ制御、システムリンクなど、機器制御システムのさまざまな側面の技術的サポートが必要です。これらの技術的要因は、機器がより優れたパフォーマンスを示すことができるように、特定の専門家および技術者の協力を必要とします。