マグネトロン真空コーティング機に必要な環境要件を理解する

マグネトロン真空コーティング機は真空環境で動作する必要があるため、機器は自然環境の真空ポンプの要件を満たしている必要があります。真空ポンプの自然環境に関する規制には、一般に、真空ポンプが設置されている実験室（または生産ワークショップ）の温度、空気中の粒子、部品または真空環境または真空ポンプの表面。 2レベル。

これらの2つの分野は密接に関連しています。周囲の環境の長所と短所は、マグネトロン真空コーティング機の従来のアプリケーションを直接危険にさらす可能性があります。真空ポンプ装置の真空システムまたはそれに取り付けられている部品が洗浄されているかどうか、および装置の特性を直接危険にさらすかどうか。空気中に蒸気やほこりが多い場合は、オイルシール式真空ポンプを使用して真空システムをクリアせずに真空にすることで、推定真空値を取得することは困難です。シーリングリングタイプの真空ポンプは、合金を腐食させ、真空ポンプのオイルを反射する粒子状の粉塵を含む蒸気をポンプで排出するのには適していません。水蒸気は凝縮性ガスです。凝縮性ガスを大量に抽出すると、オイルバルブの環境汚染がさらに深刻になります。その結果、ポンプの真空ポンプが低下し、ポンプの吸引特性が損なわれます。

工業生産の屋内環境における煙とほこりは、粉末、無題の目、および煙によって決定されます。粉末は、粉末または液体粒子の組み合わせまたは分散の形の化学物質です。粉末形態とは、微細な固体粒子の組み合わせを指し、粒子とは、1つずつ数えることができる微細な化学物質を指します。濃い煙は、液体や溶液の微粒子が浮遊する形で空気中に現れる化学物質管理システムです。化学物質は、固体であろうと液体であろうと、粒子の形をしている場合、一般に微粒子と呼ばれます。ガス清浄度の仕様は、ダスト粒子の直径によって決まり、クリーンルームのレベルがカスタマイズされます。クリーンな規制のある産業部門だけでなく、自然環境をクリーンアップするための真空ポンプにも使用できます。