真空コーティングプロセスがどのように実現されるかを理解してください

真空コーティング高品質の薄膜材料の製造に使用されるプロセスです。真空条件下で基質の表面に熱的に蒸発またはスパッタリングすることにより、薄膜を生成します。この記事では、真空コーティングの実装を詳細に紹介します。

真空コーティングプロセスには、次の手順が含まれています。

1.適切な基板と材料を選択します

適切な基質と材料を選択することは、真空コーティングの最初のステップです。基質は、ガラス、プラスチック、金属、またはその他のナノ材料です。材料は、金属、半導体、酸化物、窒化物など、有機または無機である可能性があります。

2。真空コーティングシステムをロードします

2番目のステップは、基質と材料を真空コーティングシステムにロードすることです。真空コーティングシステムには、真空チャンバー、金属蒸発器、スパッタ、制御システムが含まれます。真空チャンバーは、真空環境を維持するために使用される閉じたスペースであり、金属蒸発器とスパッターは、基板に材料を蒸発またはスパッタリングするために使用されるデバイスであり、制御システムは真空環境と材料の蒸発またはスパッタリング速度を監視および調整するために使用されます。

3。真空

材料と基質を積み込んだ後、真空チャンバーを避難させる必要があります。低圧と高純度環境を維持することで膜の品質を保証できるため、掃除機は非常に重要なステップです。真空環境は通常、ガス分子やその他の汚染物質を除外するために10^-6 mbar未満です。

4。材料の蒸発またはスパッタリング

真空環境が望ましい圧力に達すると、材料を基板に蒸発またはスパッタにすることができます。材料蒸発には、熱蒸発と電子ビーム蒸発という2つの方法があります。スパッタリングには、マグネトロンスパッタリングとアークスパッタリングの2つの方法もあります。どちらの方法を使用しても、材料の蒸発またはスパッタリング速度とフィルムの厚さを制御する必要があります。

5.多層フィルムを作成します

単一層膜が製造されると、複数の層を積み重ねて複合材を形成できます。交互の堆積、マルチガン材料の共堆積、ゾーン堆積など、さまざまな材料と堆積プロセスを使用できます。

6.膜の品質をテストします

最後のステップは、膜の品質をテストすることです。テストには、厚さ、物理的特性、光学特性、電気特性などが含まれます。膜材料がテスト結果に従って要件を満たしているかどうかを判断します。

要するに、真空コーティング技術は、高品質の薄膜を達成する方法です。適切な基質と材料を選択し、真空コーティングシステムを積み込み、掃除機をかけ、材料蒸発またはスパッタを積み、マルチレイヤーフィルムを作り、フィルムの品質をテストする必要があります。真空コーティング技術は、電子機器、光学、医療、エネルギー分野で広く使用されています。