真空コーティング装置のメンテナンスと修理

真空コーティング装置のメンテナンス
1.1機械的真空ポンプのメンテナンス：
（1）ポンプとその周囲の環境は常に清潔に保つ必要があります。
（2）ポンプの操作中、オイルタンクのオイル量は、オイルポインターの中心よりも低くないでください。
（3）さまざまなタイプとブランドの真空ポンプオイルを混合できません。
（4）使用中のポンプの温度上昇は70 Cを超えてはなりません。
（5）新しいポンプのオイルは、約100時間使用してから1〜2回交換する必要があります。交換されたオイルが鉄金属粉末を含んでいないことがもう発見された後、交換できます
オイル交換期間を延長します。石油の交換期間は、指示の規定と実際の使用状況に従って決定されるものとします。
（6）新しいポンプと修理されたポンプを4〜6時間テストして、ポンプが使用要件を満たしているかどうかを確認する必要があります。
（7）ポンプが長時間使用された後（2〜3年の範囲）、限界真空度は減少し、一度オーバーホールする必要があります。それもすべきです
システム、パイプライン、バルブ、モーターを清掃して修理します。
（8）システムの損傷などの特別な事故により、または空気入口が突然大気にさらされた場合、ポンプをできるだけ早く停止してオフにする必要があります
職場のオイル注入と汚染を防ぐために、システムに接続された真空パイプを外し（低真空バルブを閉じたり、真空クランプを固定したり）。
（9）許可なくポンプのすべての部分を分解しないでください。 （10）ポンプが使用されていない場合は、ゴム製のプラグ（CAP）を使用してください
空気インレットを差し込み、汚れや硬い物体がポンプに落ちないようにします。 （11）真空技術の開発動向に常に注意を払い、元のシステムのパフォーマンスを改善するために、できるだけ早く新しいテクノロジーと材料（新しいポンプオイルなど）を導入しようとします。上記のポイントでは、対応する操作手順を策定し、特定の状況に従って厳密に実装できます。
1.2機器のセット全体の毎日のメンテナンス：
（1）オペレーターは、さまざまな機器、ポンプ、および機器のさまざまな部分に精通している必要があります。さまざまな指示を読んで理解してください。
（2）冷却水の水圧は0.1〜0.2 MPa、出口水温W 45cの間に保持する必要があります。
（3）圧縮された空気圧は0.4〜0.5 MPaです。
（4）各ボイラーを開始する前に、保護ガスのシリンダー容量をチェックして、ガスの充填が不十分であることを避け、シリンダーを交換します。
（5）起動後に異常な状態がある場合は、すぐに排除するか、原因を見つけるためにシャットダウンする必要があります。

（6）各部品の返品量を頻繁に確認し、操作中に各部品に十分な冷却水があることを確認します。
（7）（7）機器が使用されていない場合、炉内のガスを避難させる必要があります。長期間使用されていない場合は、保護ガスで満たされ、機器の水冷ジャケットの循環水を排出する必要があります。
（8）機械式ポンプと根ポンプを定期的に交換して燃料を補給する必要があり、根ポンプのオイルカップには常にオイルで満たされる必要があります。オイルを交換するときは、必ずしてください
廃油を排出します。
（9）拡散ポンプのオイルを交換するとき、内部に酸化がある場合は、拡散ポンプ内の酸化層をきれいにしてから、新しいオイルに置き換えます。
（10）充電された保護ガスの純度は99.99％を超えてはなりません。
（11）可燃性、爆発性、腐食性ガスは、この機器の保護雰囲気として使用することは許可されていません。
（12）機器の表面と機器の表面はきれいに保つ必要があります。炉の内壁を水または非真空で拭くことは許可されていません
油っぽいぼろきれで拭きます。
（13）空気圧系の空気圧のトリプレックス上の油水分離器は、しばしば水を排出する必要があり、真空拡散ポンプオイルをオイルミストに注入する必要があります。
（14）機器全体の電圧は、350〜420 Vの範囲内でなければなりません。3つのフェーズのバランスをとる必要があります。
（15）規制、電気接触圧力計、熱電対などは、拡散ポンプオイルでコーティングして、それとシートの間にオイルフィルムを形成する必要があります。
空気の漏れを防ぎます。上記の部品とフランジの接続は、長い間真空シーリング泥で密封することはできません。
（16）各部分のボルトは定期的にチェックするものとする。それらが緩んでいることが判明した場合、それらは時間内に締められます。
（17）機器が機能しているときは、各機器の表示と各ポンプの音に注意を払って、時間内に異常を見つけて調べるために
（18）機器の動作環境は、85％Aの相対湿度と10〜40℃の温度にあります。
重いハンマーでノックすることが許可されており、シーリング表面とシーリング溝を傷つけてはなりません。
（19）機器が機能している場合、オペレーターは長い間ポストを離れてはなりません。
真空コーティング装置のメンテナンス
2.1真空コーティング装置のメンテナンスの重要なポイント：
真空機器を維持する重要なポイントは、障害を判断することです。多くの場合、真空を汲み上げることができません。いくつかの理由があるかもしれません。理由を見つけなければなりません。真空ユニットのポンピング能力が不十分な場合、または漏れ速度が高い、またはその両方があるかもしれません。この時点で、誤っていることを見つけるために、辛抱強く観察して記録する必要があります。たとえば、避難時間が同じで、真空度が低い場合は、この時点でメインバルブを閉じてください。真空ゲージのポインターが急速に低下すると、ほとんどの場合、真空チャンバーが漏れます。この時点で、最初に漏れポイントを見つける必要があります。真空など
メーターのポインターは非常にゆっくりと低下します。ほとんどの場合、真空ユニットのポンプ容量は不十分です。現時点では、真空ポンプとバルブを見つけることに集中できます
漏れがある場所、または拡散ポンプオイルが汚染され、酸化されている場所を確認する。または、フロントステージパイプラインがよく密封されていません、
ポンプオイルが不十分です。または、ポンプオイル乳化、シャフトシールオイルの漏れ、その他の断層。
1、検出漏れ率：
ユーザーにとって最も厄介な問題は、検出漏れ率です。漏れは内部漏れと外部漏れに分かれています。内部漏れは困難ですが、外部漏れは検出しやすいです
いくつかをしてください。より大きな漏れポイントの場合、火炎法を使用できます。キャンドルの使用など、空気の流れが炎を逸脱させ、最初に真空にすることができるという原理を使用する
または、軽度のポイントの近くでライターが徐々に検索されると、炎が漏れポイントに移動することがわかり、漏れポイントが見つかります。
（1）漏れとマイクロリークを見つける：
小さな漏れとマイクロリークを確認するのがより困難です。一般的に使用される方法は、アセトンやエタノールなどの高真空状態の特定のガスに敏感になることにより、イオン化チューブを使用して漏れを検出することです。医療シリンジを使用して、アセトンまたはエタノールを疑わしい場所にスプレーします。漏れポイントに達すると、イオン化メーターのポインターが明らかにスイングします。この方法を使用して漏れを検出する必要があります。イオン化メーターの兆候が安定するまで待つ必要があります。つまり、真空ユニットのポンプ容量と漏れ速度がバランスが取れていて、その後スプレーします。漏れポイントを確認するために数回繰り返します。 （2）漏れと外部漏れの検索：内部漏れは、水冷ジャケットを使用して機器で主に発生します。間違いなく外漏れ検査には見られますが、次の現象が存在します。機械ポンプのポンピング速度は明らかに低く、真空ゲージの指示値は低く、機械式ポンプオイルはすぐに乳化し、真空チャンバー内の鉄ベースの部品は明らかに錆びています。上記の条件を使用すると、内部漏れを基本的に決定できます。たとえば、2x-70ロータリーベーンポンプと2つのZJ-150根ポンプを装備した25 kgの中周波炉があります。それらが一緒にポンプで汲み上げられると、10 Paのみをポンプできます。ZJ-150ポンプの機能は見えず、外部漏れは見つかりませんが、機械式ポンプオイルが迅速に乳化する条件があり、真空チャンバー内の鉄塩基部品は明らかに錆びています。分解装置が洗浄された後、炉のカバーの漏れは冷却水を通過することで見つかり、残りは漏れポイントを見つけるためです。最初に内壁をきれいにしてから、冷却水を接続して、湿った点があるかどうかを確認します。ウェットポイントは漏れポイントです。
2、トラブルシューティング：
障害点を見つけて、現地の条件に応じて対処してください。簡単な方法は、ゴム製のリングやボルトのように小さい部品を交換することです。バルブや真空ポンプと同じ大きさで、手元にある限り変更できます。溶接する部品は、要件に従って実行されるものとし、溶接後に要件が満たされているかどうかを確認する必要もあります。