真空コーティング機の設計特性マルチロタリーディスク比較機器

2023-04-28


1)固定シリンダー3の円筒形状、大きな直径、薄壁構造の定式化と軸対称の決定方法は、それが十分な強度と曲げ剛性を持つことを保証することができ、同時に、高温のマグネトロンが摩耗耐性物質を吐き出すことを防ぐことができます。
2)環状座標ベアリング2の設計スキームは、着席ベアリング設置のシーリング性能と垂直角を保証します。シャフト1の直径の仕様を拡張し、着席ベアリング2の2つのローリングベアリング間の設置間隔を増加させ、回転プロセスの後のシャフト1の曲げ剛性、回転ディスク15の回転動作の柔軟性、および繰り返しの部分の柔軟性を確保するために、独自の強度と曲げ剛性を改善します。
3)拡張された支持板16の直径に応じて、交換可能な組織を運ぶには、平面ビュー角の組織の合理的な総面積が拡大し、大きな直径(φ26.5mm)の比較ピースを設置できます。相対シート12は、シートタイプのラミネートガラスで作られています。比較シートモジュールとして、比較シートは屋内スペースに3次元の蓄積設置方法を採用しています。フィルムはフィルムと比較されます。これは、二重層の高精度光学膜がコーティング装置によってコーティングされているという問題を解決し、フィルムの数は比較的少ないため、上部のコーティングの重ねられた層と精度に影響します。
4)ポジショニングプレート6およびスロットタイプの光カプラー17と協力して、スロットタイプの光カプラーに従って位置決めプレート上の3つの平均120°ダブルスリットを認識し、モーターの回転を制御して停止します。シャフト1の回転の正確な位置決めの一貫性が繰り返し保証され、回転ディスク15が押されて正確なプルアウト姿勢を実行します。
5)回転シーリングフィードインメカニズムは、ウィルソンシーリングメカニズム5を導入します。これにより、ギアメッシュに応じてモーター9の敏感な回転がシャフト1を駆動するだけでなく、真空チャンバーの外界へのシーリング効果も保証します。マルチロタリーディスクを備えた最適化された真空コーティングマシンは、比較的薄いフィルム機器です。その特性は次のとおりです。(1)単純な構造、高い圧縮強度、および良好な安定性。光フィルム; (3)フィルムの直径の拡張と比較して、プラスチックフィルムの監督の精度が改善され、ハードウェアシステムの要件が削減され、システムソフトウェアは自動制御システムを非常に簡単に完成させます。 (4)メンテナンスコストは低い。
の最適化によると真空コーティングマシンマルチロータリーブレード比較デバイスは、相対ブレード構造の回転の調整と繰り返しの一貫性を保証し、相対領域が小さいという問題を解決し、ループ調整は不便であり、光信号周波数は安定しています。それは貧弱な緯度の問題を解決し、シートの総数が少ないという問題を解決します。これにより、元の真空コーティング機でコーティングされた光学膜の品質がさらに向上し、30層以上の光膜をコーティングできます。実践的な経験により、この比較シート構造は効果的であり、今日の電子光真空コーティングマシンの分野で十分に販売および実装できることが証明されています。
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